平行平晶
平行平晶是以光波干涉原理為基礎,利用平行平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測量被測量面的誤差程度。 平行平晶具有高精度的平面性和平行性。 平行平晶用于檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規(guī)和千分尺卡規(guī)等量具測量面的平面度和兩
相對測量的平行度。
規(guī) 格 | 精 度 | 塊數(shù) |
0-25 | 0.6μm | 4 |
25-50 | 0.6μm | 4 |
50-75 | 0.6μm | 4 |
75-100 | 1.0μm | 4 |
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